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国家知识产权局信息数据显现，山东晶镓半导体有限公司请求一项名为“一种用于GaN退火炉的气体预热及混合设备”的专利，公开号CN121631804A，请求日期为2025年12月。
专利摘要显现，本发明归于半导体制作设备技术领域，详细触及一种用于GaN退火炉的气体预热及混合设备。本发明公开了一种用于GaN退火炉的气体预热及混合设备，包含前段恒温配气单元、中段多级混合单元和结尾安全喷注单元。前段单元经过加热护套将氨气预热至40‑80℃，避免冷凝，并将氢气、氨气完成开始混合；中段单元选用内壁带静态螺纹凸条的气流混合器，结合PLC操控的闸板阀，构成二级混合结构，完成气体深度均匀混合；结尾单元设有带紧迫排气管的安全泄放支路，经过PLC体系完成安全联锁。该设备处理了氨气冷凝、气体混合不均及氢气工艺安全危险危险等问题，提升了退火工艺的稳定性和安全性。
天眼查资料显现，山东晶镓半导体有限公司，成立于2023年，坐落济南市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本1307.1895万人民币。经过天眼查大数据分析，山东晶镓半导体有限公司参加招投标项目4次，产业线条，此外企业还具有行政许可5个。
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